臥式ONINE-LINE磁控連續(xù)線(NH-MGLX系列) | |
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NH-MGLX5000TEL | |
鍍膜區(qū)域 | 高1500*寬2000 |
結(jié)構(gòu) | 采用高效的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室, 前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。 |
靶材設(shè)計 | 采用新型旋轉(zhuǎn)陰極靶材以及平面陰極靶材 |
電源系統(tǒng) | 配備大功率中頻磁控濺射電源 |
真空室結(jié)構(gòu) | 立式單門,整體箱式布局 |
真空系統(tǒng) | 擴散泵(分子泵)+羅茨泵+機械泵+深冷泵 |
水壓流速 | ≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mp |
極限真空 | 3.0×10-2Pa |
一般規(guī)格 | W1200mm*L2000mm(單室) W1500mm*L2400mm(單室) |
真空室尺寸 | 真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 |
控制方式 | 手動+半自動+全自動—體化/觸摸屏+PLC |
充氣系統(tǒng) | MFC或APC自動壓強控制儀 |