| 立式磁控光學(xué)鍍膜設(shè)備（NH-MGO系列） | ||||
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| NH-MGO1300TEL | NH-MGO1800TEL | NH-MGO2100TEL | ||
| 真空室內(nèi)腔尺寸 | Φ1300x H700mm | Φ1800x H1400mm | Φ2100x H1200mm | |
| 真空室材料 | 真空室與真空門采用不銹鋼材料制作,內(nèi)壁表面機(jī)械拋光。 | |||
| 真空室結(jié)構(gòu) | 箱式，單側(cè)開門結(jié)構(gòu) | |||
| 觀察窗 | 門上設(shè)置觀察窗2只，可觀察室內(nèi)工作情況。 | |||
| 屏蔽板 | 采用不銹鋼材料制造，隨設(shè)備配兩套，可互換 | |||
| 濺射靶材 | Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ... | |||
| 機(jī)架 | 用不銹鋼材料制造。機(jī)架面板，用不銹鋼材料制造。 | |||
| 膜厚控制儀 | 晶控或光控 | |||
| 旋轉(zhuǎn)裝置 |
配旋轉(zhuǎn)裝置一套，采用變頻器無級調(diào)節(jié)。 傳動方式：下傳動ｎ＝10~100RPM（可變）軸， 可拆卸 |
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| 抽氣系統(tǒng) | 機(jī)械泵 + 羅茨泵 + 分子泵 + 低溫泵 / Polycold | |||
| 沉積源 | DC/MF磁控濺射源+ DC/ICP等離子體源 + 阻抗式蒸發(fā)源 / 在線AF/AS蒸發(fā)源 | |||
| 真空測量系統(tǒng) | 數(shù)顯復(fù)合真空計 1套 | |||
| 控制系統(tǒng) | 觸摸式 手動、全自動 | |||